E.V.S (Enterprise Value Study)

파크시스템스 주가/원자현미경(AFM) 반도체 계측장비

Jins38 2023. 5. 4. 16:10
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파크시스템스(140860)는 30년 이상 원자현미경과 이를 응용한 각종 장비를 생산, 판매하는 나노계측기 전문 기업입니다. 원자현미경은 나노기술의 발전에 핵심적인 역할을 하며, 반도체, 정보저장, 나노기술 연구 등에 활용됩니다. 또한, 신물질, 에너지, 환경, 바이오, 의학진단 등 미래 산업에도 큰 기여를 할 수 있는 장비입니다.

 

Park Systems

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www.parksystems.com

 

주요 제품 및 현황

파크시스템스의 제품은 크게 연구용 장비와 산업용 장비로 구분되며 산업용 장비는 다시 생산 공정용과 분석용으로 구분됩니다.

품목 2020년 
비율(%)
2021년 
비율(%)
2022년 
비율(%)
제품설명
연구용 장비군 27.69 28.39 27.31 연구용 나노계측(분석) 장비 등
산업용 장비군 68.21 67.35 69.88 산업용 나노계측(분석) 장비 등
기타 4.09 4.26 2.81 소모품 및 서비스

● 연구용 장비

연구용으로 사용되는 NX-Series 모델을 출시하고 있으며, 이 제품군은 고성능과 사용의 편의성으로 인해 인기를 얻고 있습니다. 특히, NX20과 NX-Hivac은 FA/QA 분석실에서 반도체 등 전자소자의 품질 컨트롤에 주로 사용되고 있습니다. 이 제품군은 시료의 성향을 이미지 하는 것 외에도 다양한 물성을 측정하고 분석할 수 있는 다양한 옵션 기능을 제공하고 있으며, 대학교나 연구소에서 요구하는 다양한 기능을 충족할 수 있도록 다양한 액세서리도 함께 제공하고 있습니다.


● 산업용 장비

생산 공정용 장비와 분석용 장비로 나뉘며, 생산 공정용 장비는 자동화가 되어 24시간 가동되며 하드디스크 헤드, 웨이퍼 등의 생산에 사용됩니다. 분석용 장비로는 하드디스크 미디어와 사파이어 웨이퍼의 거칠기 측정, 디스플레이 측정 등에 사용됩니다. 당사의 NX-Wafer 장비는 반도체 생산 공정 모니터링 장비로 국내외에서 좋은 평가를 받고 있으며, 2021년에는 하이브리드 솔루션인 NX-Hybrid WLI를 출시하였습니다. 2022년에는 EUV 마스크 결함 측정 및 제거, 검증까지 가능한 NX-Mask와 화학적, 기계적, 지형적 데이터를 측정할 수 있는 NX-IR을 출시하였습니다.

※ NX-Hybrid(하이브리드) WLI(백색광 간섭계)

※ NX-Mask(마스크): 극자외선(EUV) 공정 후에 마스크에 발생한 이물질을 제거해 재사용할 수 있도록 돕는 마스크 리페어 장비

 

● 바이오 연구용 장비

NX-12는 바이오 연구용으로 개발된 장비로, 역 광학 현미경(IOM)과 스캐닝 이온 전도 현미경(SICM) 및 원자간 힘 현미경(AFM) 등의 기능을 결합하여 생체 시료를 측정할 수 있습니다. 이를 통해 라이브 셀 이미지 및 나노 스케일 패치 클램핑 등의 다양한 응용 분야에서 사용될 수 있습니다.

 

최근 수행한 주요 연구성과

구분 연구과제명
산업용 장비 (나노융합2020사업)
고해상도 탐침형 형광/WLI 융합 현미경 개발
(ATC)반도체 공정에서 30nm~100nm 크기의 결함 특성
분석을 위한 2세대 auto defect review 전용 AFM 플랫폼 개발 (2단계)
(핵심)30nm이하 나노소자용 인라인 3D-AFM
연구용 장비 300nm Wafer용 연구용 장비

● IMEC JDP 연구성과

2015년부터 IMEC 연구소와 반도체 생산 공정용 원자현미경 개발을 위해 공동 연구 개발을 진행하고, AFM 기술의 가능성을 확인했습니다. 이로 인해 두 번째 공동 연구 계약이 체결되어 CMP 공정 등 반도체 공정 내에서 AFM 기술의 활용 방안을 연구하게 되었습니다. 

 

시장 규모 및 전망

Microscopy Market 보고서에 따르면, 전 세계 현미경 시장은 2019년 $441M에서 2024년 $586M로 연간 성장율(CAGR) 5.8%로 증가할 것으로 예상됩니다. 광학 현미경 시장은 이미 성숙한 시장으로 나노기술의 발전과 관련이 적어 예상 성장률이 낮지만, 원자 현미경은 나노기술 발전과 밀접하게 연관되어 있어 빠른 성장이 예상되며 SEM 시장도 일부 흡수할 것으로 예상됩니다. 

 

● 연구용 장비 시장

원자현미경 전자현미경
공기 중, 진공, 용액 안에서도 사용 가능 진공에서만 사용 가능
별다른 시료 준비 필요X 복잡한 시료 준비가 필요
정량적인 3차원 형상 정보를 제공 가능 2D 이미지만 가능, 입체정보 측정X
시료의 기계적, 전기적, 열적 특성을 측정할 수 있는 다양한 옵션 제공 측정X

 

● 산업용 장비 시장

현재의 작고 복잡한 디바이스들은 전자현미경의 해상도, 대조도, 신호대잡음비(SNR) 등에 의해 정확한 측정이 어렵습니다. 또한, 전자현미경 측정 중에 디바이스 표면 형상이 오염되거나 변형되는 문제도 심각하게 논의되고 있습니다. 이러한 이슈로 인해 3차원 원자현미경(NX-3DM)과 같은 새로운 원자현미경이 유일한 대안으로 부상하고 있습니다. 

 

● 바이오 연구용 장비 시장

바이오 시장에서는 나노미터, 분자 수준의 분해능을 필요로 하는 수요가 증대되고 있어 기존의 광학 현미경으로는 측정하기 어렵습니다. 전자현미경은 살아있는 세포나 용액 안에서의 측정이 불가능하지만 원자현미경(SICM이나 liquid AFM)으로는 가능합니다.

 

 

 

2023년 전망

▶ 반도체 산업에서 사용되는 자동화 원자현미경 제공

▶ CMP공정으로 인한 dishing과 erosion의 정밀한 측정 및 Wafer 전체 영역에서의 균일도 확인 가능

▶ 전방산업의 미세화 흐름에 따른 다양한 Application 대응을 위한 AFM 도입

▶ 디스플레이 산업에서의 수요 증가

▶ NX-Mask는 EUV마스크 리페어용 장비로 EUV 공정내에서 확대가 기대됨

▶ 2023년 매출액 증대 전망

 

차트 및 재무분석

파크시스템스 기업 차트 2023.05.04 기준파크시스템스 기업과 지수 비교 차트 2023.05.04 기준
(좌) 파크시스템스 일봉차트 / (우) 지수 비교차트

 



투자지표 단위 2020 2021 2022 2023F
매출액 십억원 71.2 85.2 124.5 164.7
영업이익 십억원 15.0 17.6 32.6 49.0
세전이익 십억원 10.7 8.8 31.9 47.2
순이익 십억원 10.0 9.1 28.0 43.3
EPS 1,493 1,355 4,034 6,216
PER 63 113 28 24
PBR 12 12 7 6
ROE % 20 13 27 31

 


 

 

 

 

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